Bộ điều khiển áp suất Brook Instrument PC100

Giá:

Liên Hệ

Mã sản phẩm:

PC100

Mô tả:

Bộ điều khiển áp suất Brook Instrument PC100, Đại lý hãng Brook Instrument Việt Nam

Chia sẻ:

Số lượng

Chi tiết sản phẩm

PC100 - Bộ điều khiển áp suất bán dẫn | Brooks Instrument

Bộ điều khiển áp suất PC100 của Brooks Instrument là bộ điều khiển áp suất kỹ thuật số với cảm biến lưu lượng nhiệt tích hợp, thiết kế cho các quy trình bán dẫn và khí siêu sạch. Với độ chính xác đo áp suất ±1% giá trị đọc, thời gian đáp ứng dưới 1 giây, màn hình LCD xoay được và giao tiếp DeviceNet/RS485/analog, PC100 mang lại khả năng điều khiển áp suất nhanh, ổn định và tiết kiệm khí cho các hệ thống phân phối khí, buồng chân không và thiết bị xử lý trong nhà máy hiện đại.

1. Tổng quan về Bộ điều khiển áp suất PC100

PC100 thuộc dòng điều khiển áp suất kỹ thuật số của Brooks Instrument, kết hợp cảm biến lưu lượng nhiệt độc quyền, bộ vi xử lý ARM tốc độ cao và cụm van không màng tác động nhanh, hỗ trợ điều khiển áp suất downstream và upstream linh hoạt.

Thân thiết bị kín kim loại đạt chuẩn SEMI F20 với vật liệu 316L VIM/VAR và Hastelloy C-22, độ nhẵn 5µ inch Ra. Màn hình LCD xoay hiển thị lưu lượng, nhiệt độ và áp suất (Torr, psia, kPa), giúp giám sát trực quan tại hiện trường.

2. Thông số kỹ thuật Bộ điều khiển áp suất PC100

Thông số kỹ thuật	Giá trị
Loại thiết bị	Bộ điều khiển áp suất kỹ thuật số
Độ chính xác đo áp suất	±1% giá trị đọc
Dải đo áp suất	2 - 100% FS
Độ chính xác điều khiển	±0,2% FS (dưới 10% FS); ±1% FS (10-100% FS)
Thời gian đáp ứng	Dưới 1 giây (điển hình)
Dải cảm biến áp suất	1000 Torr FS (chịu quá áp 2 lần FS)
Nhiệt độ làm việc	10 - 50°C
Vật liệu tiếp xúc	316L VIM/VAR, Hastelloy C-22, đạt SEMI F20
Độ kín rò rỉ	1 x 10-10 atm.cc/s He
Giao tiếp	RS485/Analog (9-pin D), DeviceNet (5-pin M12)

3. Đánh giá chi tiết Bộ điều khiển áp suất PC100

Bộ điều khiển áp suất PC100 được phát triển cho những quy trình mà tốc độ đáp ứng và độ ổn định áp suất quyết định chất lượng sản phẩm, điển hình là công nghiệp bán dẫn. Sự kết hợp giữa cảm biến lưu lượng nhiệt độc quyền, bộ vi xử lý ARM tốc độ cao và cụm van không màng tác động nhanh mang lại thời gian đáp ứng dưới 1 giây, cải thiện rõ rệt chất lượng điều khiển áp suất. Chức năng khởi động lập trình được cho phép tăng áp theo đường dốc chậm, bảo vệ quy trình nhạy cảm khỏi xung áp đột ngột, đồng thời giảm lượng khí xả bỏ và chi phí xử lý khí thải.

Về độ bền và độ sạch, PC100 sử dụng vật liệu tiếp xúc đạt chuẩn SEMI F20 gồm 316L VIM/VAR và Hastelloy C-22 với độ nhẵn bề mặt 5µ inch Ra, đáp ứng yêu cầu của môi trường khí siêu sạch. Độ chính xác đo áp suất ±1% giá trị đọc cùng độ ổn định điểm 0 dưới 0,5%/năm giúp thiết bị duy trì hiệu năng lâu dài, ít cần hiệu chuẩn lại. Màn hình LCD xoay hiển thị đồng thời lưu lượng, nhiệt độ và áp suất; các tùy chọn giao tiếp RS485, analog và DeviceNet cho phép tích hợp linh hoạt vào hệ thống điều khiển hiện hữu.

Để hệ thống điều khiển áp suất vận hành tin cậy, việc chọn đúng đại lý phân phối Brooks Instrument tại Việt Nam là yếu tố then chốt. TMP Vietnam cung cấp Bộ điều khiển áp suất PC100 chính hãng với đầy đủ chứng từ CO/CQ, tư vấn lựa chọn cấu hình downstream/upstream và dải áp suất phù hợp từng hệ thống khí. Đội ngũ kỹ sư TMP hỗ trợ từ chọn mã, lắp đặt đến hiệu chuẩn ban đầu, giúp doanh nghiệp rút ngắn thời gian đưa vào vận hành. Nhờ đó, ứng dụng của bộ điều khiển áp suất PC100 trong công nghiệp — từ phân phối khí bán dẫn, buồng chân không đến thiết bị phân tích — luôn đạt độ ổn định và độ chính xác như thiết kế.