Thiết bị đo lưu lượng SLA7840 Brook Instrument

Giá:

Liên Hệ

Mã sản phẩm:

SLA7840

Mô tả:

Đại lý Brook Instrument

Chia sẻ:

Số lượng

Chi tiết sản phẩm

SLA7840 - Bộ điều khiển lưu lượng đa khí | Brooks Instrument

Thiết bị đo lưu lượng SLA7840 của Brooks Instrument là bộ điều khiển lưu lượng khối (mass flow controller) dòng kín hoàn toàn bằng kim loại, thiết kế cho các quy trình khí yêu cầu độ sạch và độ chính xác cao. Với dải lưu lượng rộng từ 3 sccm đến 30.000 sccm, thời gian đáp ứng dưới 1 giây và công nghệ đa khí/đa dải MultiFlo, SLA7840 giúp nhà máy giảm tồn kho thiết bị, ổn định quy trình và rút ngắn thời gian hiệu chuẩn trong nhà máy bán dẫn, dược phẩm và phòng thí nghiệm phân tích khí.

Thiết bị đo lưu lượng SLA7840 Brooks Instrument

1. Tổng quan về Thiết bị đo lưu lượng SLA7840

SLA7840 thuộc dòng SLA7800 của Brooks Instrument, là bộ điều khiển lưu lượng khối nhiệt với đường dẫn dòng kín hoàn toàn bằng kim loại. Thiết kế này giúp thiết bị làm việc tin cậy trong các ứng dụng khí siêu sạch, nơi yêu cầu loại bỏ hạt, hơi ẩm và ô nhiễm chéo.

Thiết bị tích hợp bộ chuyển đổi áp suất, van đồng phẳng rò rỉ thấp và giao tiếp DeviceNet hoặc analog. Nhờ công nghệ MultiFlo, một chiếc SLA7840 lưu trữ tới 10 hiệu chuẩn khí và dải đo, linh hoạt chuyển đổi khi thay đổi công thức sản xuất.

2. Thông số kỹ thuật Thiết bị đo lưu lượng SLA7840

Thông số kỹ thuật	Giá trị
Loại thiết bị	Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC)
Dải lưu lượng	3 sccm - 30.000 sccm (quy đổi N2)
Độ chính xác	±1,0% giá trị đọc (20-100% FS); ±0,2% FS (dưới 20% FS)
Độ lặp lại	±0,20% giá trị đọc
Thời gian đáp ứng	Dưới 1 giây (chuẩn SEMI E17-91)
Áp suất làm việc tối đa	500 psig
Vật liệu tiếp xúc	Thép 316L (VAR), gioăng Nickel
Độ nhẵn bề mặt	Tối đa 32µ inch Ra
Kết nối quy trình	1/4" VCR nam (chuẩn)
Tín hiệu giao tiếp	Analog (15-pin D) / DeviceNet (5-pin)
Nguồn cấp	+15 Vdc (analog) hoặc 11-25 Vdc (DeviceNet)

3. Đánh giá chi tiết Thiết bị đo lưu lượng SLA7840

Thiết bị đo lưu lượng SLA7840 là bộ điều khiển lưu lượng khối được tin dùng trong các nhà máy bán dẫn và phòng thí nghiệm phân tích khí nhờ thiết kế kín hoàn toàn bằng kim loại. Toàn bộ đường dẫn dòng tiếp xúc môi chất được chế tạo từ thép không gỉ 316L (công nghệ VAR) với gioăng Nickel, bề mặt đạt độ nhẵn tối đa 32µ inch Ra, giúp duy trì điều kiện quy trình không hạt, không ẩm và không ô nhiễm — yếu tố sống còn với các ứng dụng khí siêu sạch. Van điều khiển đồng phẳng cho tỷ lệ rò rỉ thấp, dải điều khiển van lớn giúp giảm độ nhạy trước biến động áp suất, nhờ đó quy trình vận hành ổn định hơn theo thời gian.

Điểm khác biệt lớn nhất của SLA7840 nằm ở công nghệ đa khí/đa dải MultiFlo, cho phép lưu trữ tới 10 hiệu chuẩn khí và dải đo trên một thiết bị duy nhất. Thay vì dự trữ nhiều bộ điều khiển cho từng loại khí, kỹ sư chỉ cần một chiếc SLA7840 và chuyển đổi cấu hình khi đổi công thức — giảm đáng kể chi phí tồn kho và thời gian dừng máy. Dải lưu lượng từ 3 sccm đến 30.000 sccm (quy đổi N2), tỷ lệ điều khiển 33:1 cùng độ chính xác ±1,0% giá trị đọc đáp ứng tốt cả đo lường chính xác lẫn điều khiển nhanh, với thời gian đáp ứng dưới 1 giây theo chuẩn SEMI E17-91. Thiết bị hỗ trợ giao tiếp DeviceNet và analog giúp đơn giản hóa hệ thống dây dẫn.

Khi tìm mua thiết bị đo lưu lượng chính hãng, việc lựa chọn đúng đại lý phân phối Brooks Instrument tại Việt Nam quyết định độ tin cậy của cả hệ thống đo lường. TMP Vietnam cung cấp Thiết bị đo lưu lượng SLA7840 chính hãng với đầy đủ chứng từ CO/CQ, tư vấn chọn dải đo và cấu hình khí phù hợp ngay từ đầu, giúp doanh nghiệp tránh mua sai mã. TMP đồng hành từ tư vấn kỹ thuật đến hỗ trợ sau bán hàng, bảo đảm ứng dụng của bộ điều khiển lưu lượng SLA7840 trong công nghiệp đạt hiệu quả cao nhất.